技術(shù)特點  Features   

· 高方阻技術(shù)解決方案。

· 配套相關(guān)專利技術(shù)，可適用于硼擴(kuò)散工藝。

· 獨特雙嵌套爐門結(jié)構(gòu)。

· 專利技術(shù)尾氣處理系統(tǒng)。

· 高速平穩(wěn)整體模組推舟機(jī)構(gòu)。

· 智能化全自動控制。

· 自主知識產(chǎn)權(quán)MES軟件。

· 全面的防超溫、斷偶、撞舟等安全報警保護(hù)功能。

· 匹配S.C智能化生產(chǎn)管理系統(tǒng)。